| TiO_2系薄膜型氧敏材料的研究与发展综述 |
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| 引用本文： | 李岩,徐明霞,徐艳姬,田玉明,徐廷献.TiO_2系薄膜型氧敏材料的研究与发展综述[J].传感器与微系统,2004,23(11):12-14. |
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| 作者姓名： | 李岩 徐明霞 徐艳姬 田玉明 徐廷献 |
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| 作者单位： | 天津大学,材料科学与工程学院,先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室,天津,300072 |
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| 摘 要： | 介绍了TiO2薄膜型氧敏材料的特性、氧敏机理及发展优势。就TiO2薄膜型氧敏材料的制备新方法和几种新型TiO2系薄膜以及相应的氧敏性能等重要方面进行了探讨,并对今后的研究与发展方向提出几点建议。
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| 关 键 词： | TiO2系 薄膜 氧敏材料 |
| 文章编号： | 1000-9787(2004)11-0012-03 |
| 修稿时间： | 2004年5月20日 |
Research and development of TiO2 oxygen-sensing thin films |
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| LI Yan,XU Ming-xia,XU Yan-ji,TIAN Yu-ming,XU Ting-xianf Materials Sci and Engin,Tianjin University,Tianjin ,China.Research and development of TiO2 oxygen-sensing thin films[J].Transducer and Microsystem Technology,2004,23(11):12-14. |
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| Authors: | LI Yan XU Ming-xia XU Yan-ji TIAN Yu-ming XU Ting-xianf Materials Sci and Engin Tianjin University Tianjin China |
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| Affiliation: | LI Yan,XU Ming-xia,XU Yan-ji,TIAN Yu-ming,XU Ting-xianf Materials Sci and Engin,Tianjin University,Tianjin 300072,China) |
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| Abstract: | The characteristics,oxygen-sensing mechanism and developing advantages of TiO_2 oxygen-sensing thin films are introduced.New preparation methods,some kinds of new TiO_2 system oxygen-sensing thin films and its relative oxygen-sensing properties are discussed.And based on it,some suggestions on the research and development of TiO_2 oxygen-sensing thin films are proposed. |
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| Keywords: | TiO_2 system thin films oxygen-sensing materials |
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