| 静电悬浮式三轴加速度传感器的初步设计 |
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| 引用本文： | 唐富荣,薛大同.静电悬浮式三轴加速度传感器的初步设计[J].传感器与微系统,2001,20(7):30-32. |
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| 作者姓名： | 唐富荣 薛大同 |
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| 作者单位： | 中国空间技术研究院 兰州物理研究所, |
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| 基金项目： | 国防预研基金;413210801; |
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| 摘 要： | 从静电悬浮式加速度传感器的工作原理出发 ,针对航天器上的微重力水平 ,初步设计了高灵敏静电悬浮式加速度传感器 ,其测量量程设计为 30 μgn,分辨力为 1ngn,并对其误差来源及减少误差的措施进行了分析。
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| 关 键 词： | 电悬浮 加速度传感器 分辨力 |
| 文章编号： | 1000-9787(2001)07-0030-03 |
| 修稿时间： | 2001年4月9日 |
A preliminary design of an electrostatically suspended triaxial accelerometer |
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| TANG Fu-rong,XUE Da-tong.A preliminary design of an electrostatically suspended triaxial accelerometer[J].Transducer and Microsystem Technology,2001,20(7):30-32. |
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| Authors: | TANG Fu-rong XUE Da-tong |
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| Abstract: | An electrostatically suspended triaxial accelerometer is tentatively designed for space application. The result shows that the maximum measurable acceleration is designed to 30μg n, and that the resolution is expected to be 1ng n Some error sources, which may affect the resolution and the maximum measurable acceleration, are also analyzed. |
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| Keywords: | electrostatically suspended accelerometer resolution |
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