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平面振动式微硅型加速度计的结构设计
引用本文:茅盘松.平面振动式微硅型加速度计的结构设计[J].传感器与微系统,1996(6):34-37.
作者姓名:茅盘松
作者单位:东南大学
摘    要:详细介绍了一种平面振动式微硅型加速度计的工作原理,并用理论力学和材料力学阐述了这种加速度计的结构设计方法。

关 键 词:平面振动,微硅,加速度计,结构设计

Structural Design of a Planar Vibrator Micromechanical Silicon Accelerometer
Mao Pansong.Structural Design of a Planar Vibrator Micromechanical Silicon Accelerometer[J].Transducer and Microsystem Technology,1996(6):34-37.
Authors:Mao Pansong
Affiliation:Southeast University
Abstract:The operating principle of a planar vibrator micromechanical silicon accelerometer is introduced. This accelerometer stractural design method is described with the theory and mechanics of materials.
Keywords:Planar vibrator:Micromechanical silicon Accelerometer Structural design  
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