| 新型MEMS地震检波器的研究 |
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| 引用本文： | 谌贵辉,赵万明,任诚,席建中.新型MEMS地震检波器的研究[J].传感器与微系统,2010,29(8). |
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| 作者姓名： | 谌贵辉 赵万明 任诚 席建中 |
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| 摘 要： | 以MEMS加速度传感器为基础的新型地震检波器大幅度提高了地震检波器的各项性能指标.介绍了一种新型的石油勘探MEMS地震检波器的设计及其主要技术参数,并通过微传感器结构的力学性能仿真,得出其具体的结构尺寸.经采用表面工艺和体工艺相结合的方法,利用磁控溅射、光刻、化学蚀刻及等离子体蚀刻等工艺,在高阻硅上制备出检波器样品.
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| 关 键 词： | 微机电系统 加速度传感器 地震检波器 仿真 |
Research of new seismic geophone based on MEMS |
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| CHEN Gui-hui,ZHAO Wan-ming,REN Cheng,XI Jian-zhong.Research of new seismic geophone based on MEMS[J].Transducer and Microsystem Technology,2010,29(8). |
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| Authors: | CHEN Gui-hui ZHAO Wan-ming REN Cheng XI Jian-zhong |
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