| 同面多电极电容传感器结构仿真研究 |
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| 引用本文： | 曹河,董恩生,范作宪,庞宇.同面多电极电容传感器结构仿真研究[J].传感器与微系统,2012,31(12). |
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| 作者姓名： | 曹河 董恩生 范作宪 庞宇 |
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| 作者单位： | 1. 空军航空大学控制工程系,吉林长春,130022
2. 空军航空大学飞行训练基地,吉林长春,130062 |
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| 摘 要： | 通过电磁场有限元分析软件ANSYS仿真同面双电极结构电容传感器在极板长、宽、间隙的不同组合下对电容变化率的影响,得出极板长、宽、间隙的最佳组合,构建了同面八电极电容传感器,分析比较在地屏蔽、极间屏蔽、外围屏蔽下传感器极板间电位分布和在不同屏蔽下传感器的灵敏度.仿真表明:增加屏蔽后不仅可以提高传感器的灵敏度,还可以获得比较均匀的敏感场.仿真研究结果为同面多电极电容传感器的结构设计提供了依据.
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| 关 键 词： | ANSYS 同面多电极 电容传感器 仿真研究 |
Simulation study on structure of coplanar capacitive sensor with multi-electrode |
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| CAO He
,
DONG En-sheng
,
FAN Zuo-xian
,
PANG Yu.Simulation study on structure of coplanar capacitive sensor with multi-electrode[J].Transducer and Microsystem Technology,2012,31(12). |
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| Authors: | CAO He DONG En-sheng FAN Zuo-xian PANG Yu |
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