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| 清洗用氟化气体材料的开发 | |
| 引用本文： | 张公正.清洗用氟化气体材料的开发[J].化工新型材料,1995(6). |
| 作者姓名： | 张公正 |
| 摘 要： | 清洗用氟化气体材料的开发近年来，以半导体的高集成化为代表的电子工业在技术革新方面取得了显著的成绩，其中新材料的使用和新技术的产生是该领域得以发展的关键。在半导体制造业中，化学汽相淀积（ＣＶＤ）和物理汽相淀积（ＰＶＤ）等等薄膜制备技术是必不可少的。在用... |
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