| 溶胶-凝胶法制备的ITO薄膜电学及光学性能的研究 |
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| 引用本文： | 刘永红,赵高扬,张卫华.溶胶-凝胶法制备的ITO薄膜电学及光学性能的研究[J].功能材料,2004,35(4):487-488. |
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| 作者姓名： | 刘永红 赵高扬 张卫华 |
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| 作者单位： | 西安理工大学,材料科学与工程学院,陕西,西安,710048;西安理工大学,材料科学与工程学院,陕西,西安,710048;西安理工大学,材料科学与工程学院,陕西,西安,710048 |
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| 基金项目： | 陕西省自然科学基金重点资助项目(2001C08);陕西省教育厅纳米专项基金资助项目(02JN1-2) |
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| 摘 要： | 以无机盐为出发原料．采用溶胶-凝胶法制备了氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜。进一步研究了热处理气氛、温度、Sn掺杂量时In2O3薄膜电学及光学性能的影响。分别在氮气、真空和空气3种环境下对薄膜进行热处理．结果表明真空热处理后薄膜的导电性最好。研究了薄膜方块电阻随锡掺杂量的变化．发现薄膜的方阻随掺锡量的增加先减小后增加，并在掺杂量为7mol％左右时达到最低;另外探讨了热处理温度对薄膜光电性能的影响．结果发现薄膜方块电阻随热处理温度的升高而减小．且热处理温度高于700℃后变化不显著，薄膜在可见光区平均透过率随热处理温度升高呈上升趋势。本研究所制得的薄膜可见光区(400-800nm)平均透过率可达85％、方阻约为66Ω。
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| 关 键 词： | 溶胶-凝胶法 氧化铟锡 导电性 透过率 |
| 文章编号： | 1001-9731(2004)04-0487-02 |
| 修稿时间： | 2003年9月5日 |
Electrical and optical properties of pransparent conductive ITO thin films prepared by the sol-gel process |
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| LIU Yong-hong,ZHAO Gao-yang,ZHANG Wei-hua.Electrical and optical properties of pransparent conductive ITO thin films prepared by the sol-gel process[J].Journal of Functional Materials,2004,35(4):487-488. |
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| Authors: | LIU Yong-hong ZHAO Gao-yang ZHANG Wei-hua |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | sol-gel Indium tin oxide electrical properties transmission |
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