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| CO_2气体反应磁控溅射制备Ti-O薄膜成分和结构研究 | |
| 引用本文： | 李娇,文峰,谢东,潘长江,丁红燕.CO_2气体反应磁控溅射制备Ti-O薄膜成分和结构研究[J].功能材料,2014(20). |
| 作者姓名： | 李娇 文峰 谢东 潘长江 丁红燕 |
| 作者单位： | 1. 淮阴工学院 江苏省介入医疗器械研究重点实验室，江苏 淮安 223003; 海南大学 材料与化工学院材料工程系，热带岛屿资源先进材料教育部重点实验室，海口 570228 2. 西南交通大学 物理科学与技术学院,成都,610031 3. 淮阴工学院 江苏省介入医疗器械研究重点实验室,江苏 淮安,223003 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目，海南省自然科学基金资助项目，江苏省介入医疗器械研究重点实验室开放基金资助项目 |
| 摘 要： | 室温下采用反应磁控溅射的方法,利用CO2作碳源和氧源制备了碳掺杂Ti-O薄膜。X射线衍射(XRD)、光射线电子能谱(XPS)和拉曼光谱用于表征薄膜的成分和结构。采用紫外-可见(UV-Vis)分光光度计测量了薄膜的吸光度并通过作图计算得到其带隙宽度。结果表明,用CO2作碳源和氧源,可得到C掺杂的Ti-O薄膜。当掺杂碳时,钛氧膜中金红石相特征峰显著减弱,且碳以取代O原子的形式掺杂在薄膜中并促使TiO相的出现。当反应气体为CO2和O2共存时,钛原子优先与氧原子结合并抑制TiO相的形成。碳的掺入能有效降低TiO2带隙宽度,使薄膜的吸收边扩展到可见光区,提高对可见光的吸收。 |
| 关 键 词： | CO Ti-O薄膜 碳掺杂 反应磁控溅射 |
On study of composition and structure of Ti-O film prepared by reactive magnetron sputtering using CO2 |
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| LI Jiao,WEN Feng,XIE Dong,PAN Chang-jiang,Ding Hong-yan.On study of composition and structure of Ti-O film prepared by reactive magnetron sputtering using CO2[J].Journal of Functional Materials,2014(20). | |
| Authors: | LI Jiao WEN Feng XIE Dong PAN Chang-jiang Ding Hong-yan |
| Abstract: | |
| Keywords: | CO2 Ti-O film carbon-doped reactive magnetron sputtering |
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