| 利用无机盐制备γ-Al2O3粉体与薄膜的工艺技术研究 |
| |
| 引用本文： | 杨志华,余萍,肖定全,王欢.利用无机盐制备γ-Al2O3粉体与薄膜的工艺技术研究[J].功能材料,2004,35(4):474-476. |
| |
| 作者姓名： | 杨志华 余萍 肖定全 王欢 |
| |
| 作者单位： | 四川大学,材料科学与工程学院,四川,成都,610064 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(50172032) |
| |
| 摘 要： | 发明了γ-A12O3基陶瓷气敏传感器材料体系,并正研究其薄膜型传感器件.本文以廉价的无机盐Al(NO3)3·9H2O为原料,通过溶胶-凝胶法制备了勃姆石(γ-A1OOH)溶胶,然后经干燥、煅烧制备了γ-Al2O3的粉体,并通过旋转涂覆工艺制备了γ-A12O3的薄膜,应用X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、原子力显微镜(AFM)等现代分析技术对粉体的物相和薄膜的组分及表面形貌进行了表征,对γ-A1OOH溶胶制备过程中的一些影响因素进行了探讨,得出了比较好的制备γ-Al2O3基陶瓷粉体和薄膜型气敏传感器的工艺技术条件.
|
| 关 键 词： | 无机盐先驱物 溶胶-凝胶法 陶瓷粉体 γ-Al2O3薄膜 |
| 文章编号： | 1001-9731(2004)04-0474-03 |
| 修稿时间： | 2003年7月31日 |
Study on the preparation of γ-Al2O3 powder and thin films by sol-gel processes using inorganic precursors |
| |
| YANG Zhi-hua,YU Ping,XIAO Ding-quan,WANG Huan.Study on the preparation of γ-Al2O3 powder and thin films by sol-gel processes using inorganic precursors[J].Journal of Functional Materials,2004,35(4):474-476. |
| |
| Authors: | YANG Zhi-hua YU Ping XIAO Ding-quan WANG Huan |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
|
