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用PLD法制备声表面波器件用ZnO薄膜
引用本文:刘彦松,王连卫,李伟群,黄继颇,林成鲁. 用PLD法制备声表面波器件用ZnO薄膜[J]. 功能材料, 2001, 32(1): 78-79,90
作者姓名:刘彦松  王连卫  李伟群  黄继颇  林成鲁
作者单位:1. 中国科学院上海冶金研究所,
2. 中国科学院上海硅酸盐研究所,
基金项目:国家自然科学基金资助项目
摘    要:采用脉冲激光淀积 (PLD)法在单晶Si(10 0 )衬底上淀积了ZnO薄膜。XRD、TEM和AFM分析表明 ,淀积的ZnO薄膜具有良好的c轴取向性和表面平整度。通过改变淀积气氛或在纯氧中高温退火 ,ZnO薄膜的电阻率提高到 10 7Ω·cm。这些结果表明 ,用PLD法淀积的ZnO薄膜能够满足声表面波(SAW )器件的需要。

关 键 词:脉冲激光淀积 压电性 声表面波器件 氧化锌薄膜
文章编号:1001-9731(2001)01-0078-02

Pulsed Laser Deposited Zinc Oxide Films for Surface Acoustic Wave Applications
LIU Yansong ,WANG Lianwei ,LI Weiqun ,HUANG Jipo ,LIN Chenglu. Pulsed Laser Deposited Zinc Oxide Films for Surface Acoustic Wave Applications[J]. Journal of Functional Materials, 2001, 32(1): 78-79,90
Authors:LIU Yansong   WANG Lianwei   LI Weiqun   HUANG Jipo   LIN Chenglu
Affiliation:LIU Yansong 1,WANG Lianwei 1,LI Weiqun 2,HUANG Jipo 1,LIN Chenglu 1
Abstract:
Keywords:PLD  ZnO  piezoelectricity  SAW  
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