| 用PLD法制备声表面波器件用ZnO薄膜 |
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| 引用本文： | 刘彦松,王连卫,李伟群,黄继颇,林成鲁. 用PLD法制备声表面波器件用ZnO薄膜[J]. 功能材料, 2001, 32(1): 78-79,90 |
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| 作者姓名： | 刘彦松 王连卫 李伟群 黄继颇 林成鲁 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院上海冶金研究所,
2. 中国科学院上海硅酸盐研究所, |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 |
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| 摘 要： | 采用脉冲激光淀积 (PLD)法在单晶Si(10 0 )衬底上淀积了ZnO薄膜。XRD、TEM和AFM分析表明 ,淀积的ZnO薄膜具有良好的c轴取向性和表面平整度。通过改变淀积气氛或在纯氧中高温退火 ,ZnO薄膜的电阻率提高到 10 7Ω·cm。这些结果表明 ,用PLD法淀积的ZnO薄膜能够满足声表面波(SAW )器件的需要。
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| 关 键 词： | 脉冲激光淀积 压电性 声表面波器件 氧化锌薄膜 |
| 文章编号： | 1001-9731(2001)01-0078-02 |
Pulsed Laser Deposited Zinc Oxide Films for Surface Acoustic Wave Applications |
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| LIU Yansong ,WANG Lianwei ,LI Weiqun ,HUANG Jipo ,LIN Chenglu. Pulsed Laser Deposited Zinc Oxide Films for Surface Acoustic Wave Applications[J]. Journal of Functional Materials, 2001, 32(1): 78-79,90 |
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| Authors: | LIU Yansong WANG Lianwei LI Weiqun HUANG Jipo LIN Chenglu |
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| Affiliation: | LIU Yansong 1,WANG Lianwei 1,LI Weiqun 2,HUANG Jipo 1,LIN Chenglu 1 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | PLD ZnO piezoelectricity SAW |
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