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| TiO2-KTaO3复合薄膜制备与湿敏传感性质研究 | |
| 引用本文： | 冯庆,王新强,杨晓红,刘高斌.TiO2-KTaO3复合薄膜制备与湿敏传感性质研究[J].功能材料,2007,38(5):760-763. |
| 作者姓名： | 冯庆 王新强 杨晓红 刘高斌 |
| 作者单位： | 1. 重庆大学,数理学院,重庆,400044;重庆师范大学,物理系,重庆,400046 2. 重庆大学,数理学院,重庆,400044 3. 重庆师范大学,物理系,重庆,400046 |
| 摘 要： | 通过溶胶凝胶法和旋涂法制备了单层和双层TiO2-KTaO3薄膜,并在不同的温度下退火1h,研究了该薄膜的湿敏传感特性.通过扫描电镜和X射线衍射研究了薄膜的形态特性,发现该薄膜具有纳米颗粒和毛细多孔结构.环境湿度变化从12%RH～97%RH的变化过程中,在500℃下退火的TiO2/KTaO3薄膜具有很高的灵敏度.对比单层薄膜,双层薄膜显示出有更大的电阻变化范围.还研究了TiO2/KTaO3薄膜的湿敏传感机理. |
| 关 键 词： | 湿度传感器 溶胶凝胶法 旋涂法 TiO2 KTaO3 |
| 文章编号： | 1001-9731(2007)05-0760-04 |
| 修稿时间： | 2006-11-15 |
Study of preparation and humidity-sensing characterization of TiO2-KTaO3 composite thin films |
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| FENG Qing,WANG Xin-qiang,YANG Xiao-hong,LIU Gao-bin.Study of preparation and humidity-sensing characterization of TiO2-KTaO3 composite thin films[J].Journal of Functional Materials,2007,38(5):760-763. | |
| Authors: | FENG Qing WANG Xin-qiang YANG Xiao-hong LIU Gao-bin |
| Affiliation: | 1. College of Mathematics and Physics, Chongqing University, Chongqing 400044, China; 2. College of Physics, Chongqing Normal University, Chongqing 400046, China |
| Abstract: | |
| Keywords: | humidity sensor sol-gel method spin-coating method TiO2 KTaO3 |
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