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| 功能材料在MEMS中的应用及进展 | |
| 引用本文： | 王灵婕,林吉申.功能材料在MEMS中的应用及进展[J].功能材料,2004,35(Z1):939-942. |
| 作者姓名： | 王灵婕 林吉申 |
| 作者单位： | 王灵婕（福州大学,物理与信息工程学院,福建,福州,350002）;林吉申（福州大学,物理与信息工程学院,福建,福州,350002） |
| 基金项目： | 教育部基金资助(01060);福建省科技厅基金资助(2001I004). |
| 摘 要： | 以硅材料为基础的微机电系统MEMS被人们认为是21世纪革命性的新技术,是实现信息采集、处理、执行一体化,使之成为真正的系统.本文论述了MEMS的加工技术对材料提出的要求,以及近年来各种硅材料和功能材料在MEMS的应用和最新进展. |
| 关 键 词： | MEMS 硅 材料 |
| 文章编号： | 1001-9731(2004)增刊-0939-04 |
| 修稿时间： | 2003年12月8日 |
The application and development of functional materials in MEMS |
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| Keywords: | |