| 钛合金表面Si-N-O薄膜的制备及其性能研究 |
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| 引用本文： | 黄菊,杨苹,邵甄胰,王伟,冷永祥,孙鸿,黄楠.钛合金表面Si-N-O薄膜的制备及其性能研究[J].功能材料,2007,38(A05):1773-1775. |
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| 作者姓名： | 黄菊 杨苹 邵甄胰 王伟 冷永祥 孙鸿 黄楠 |
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| 作者单位： | 西南交通大学材料科学与工程学院 材料先进技术教育部重点实验室 人工器官四川省重点实验室,四川成都610031 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目（30570502） |
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| 摘 要： | 采用非平衡磁控溅射（UBMS450）法在钛合金表面制备了Si-N-O薄膜。研究结果表明：氮气流量对薄膜的化学结构、力学性能有很大影响。X射线光电子能谱（XPs）表征显示，随着氮气流量由5ml／min增加到20ml／min，薄膜中的N／Si比从0．36增加到了1．1，力学性能在氮气流量为15ml／min时达到最大值。
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| 关 键 词： | 钛合金Si-N-O薄膜 磁控溅射 力学性能 |
| 文章编号： | 1001-9731（2007）增刊-1773-03 |
| 修稿时间： | 2007-04-18 |
Fabrication and characterizaton of Si-N-O films on the surface of Ti alloy |
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| HUANG Ju, YANG Ping, SHA Zeng-yi, WANG Wei, LENG Yong-xiang, SUN Hong, HUANG Nan.Fabrication and characterizaton of Si-N-O films on the surface of Ti alloy[J].Journal of Functional Materials,2007,38(A05):1773-1775. |
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| Authors: | HUANG Ju YANG Ping SHA Zeng-yi WANG Wei LENG Yong-xiang SUN Hong HUANG Nan |
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| Affiliation: | HUANG Ju, YANG Ping, SHA0 Zeng-yi, WANG Wei, LENG Yong-xiang, SUN Hong, HUANG Nan |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Si-N-O film magnetron sputtering titanium alloys mechanical properties |
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