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| 脉冲激光制膜新技术及其在功能薄膜研究中的应用 | |
| 引用本文： | 李美亚,王忠烈.脉冲激光制膜新技术及其在功能薄膜研究中的应用[J].功能材料,1998,29(2):132-135. |
| 作者姓名： | 李美亚 王忠烈 |
| 作者单位： | 北京大学物理系，北京大学微电子研究所，汕头大学科学院材料所，清华大学物理系 |
| 摘 要： | 脉冲激光制膜是近年来发展的富有希望的制膜新技术。本文简要介绍了脉冲激光制膜技术的原理、特点和优势以及在功能薄膜研究中的应用。 |
| 关 键 词： | 脉冲激光制膜 功能薄膜 外延生长 超晶格 |
The Pulsed Laser Deposition Technique and its Applications in the Study of Functional Thin Films |
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| Abstract: | |
| Keywords: | pulsed laser deposition functional thin films epitaxial growth superlattices |
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