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| 电子束蒸发制备CuAlO2透明导电膜及光学性质 | |
| 引用本文： | 刘高斌,王新强,冯庆,何阿玲,马勇,赵兴强,杨晓红.电子束蒸发制备CuAlO2透明导电膜及光学性质[J].功能材料,2007,38(12):1941-1943. |
| 作者姓名： | 刘高斌 王新强 冯庆 何阿玲 马勇 赵兴强 杨晓红 |
| 作者单位： | 1. 重庆大学,物理系,重庆,400044 2. 重庆大学,物理系,重庆,400044;重庆师范大学,物理系,重庆,400046 3. 重庆师范大学,物理系,重庆,400046 |
| 基金项目： | 重庆市科技攻关项目 , 重庆市自然科学基金 |
| 摘 要： | 利用烧结的CuAlO2靶材运用电子束蒸发法沉积了p型CuAlO2薄膜样品.在空气中1000℃退火之后,薄膜样品出现了(006)定向结晶,且铜铝原子比满足化学计量.CuAlO2薄膜呈现了很好的透明性,500nm厚的薄膜样品在可见光范围透射率超过了80%.利用光谱分析,CuAlO2薄膜的光学禁带约为3.80eV,其平均折射率约为1.54,同其它方法制备的该薄膜的性能相近.薄膜样品室温电导率约为0.08S/cm. |
| 关 键 词： | 透明导电膜 p型 CuAlO2 电子束蒸发 |
| 文章编号： | 1001-9731（2007）12-1941-03 |
| 收稿时间： | 2007-04-27 |
| 修稿时间： | 2007-09-14 |
Fabrication and properties of p-CuAlO2 films by e-beam evaporation |
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| LIU Gao-bin,WANG Xin-qiang,FENG Qing,HE A-ling,MA Yong,ZHAO Xing-qiang,YANG Xiao-hong.Fabrication and properties of p-CuAlO2 films by e-beam evaporation[J].Journal of Functional Materials,2007,38(12):1941-1943. | |
| Authors: | LIU Gao-bin WANG Xin-qiang FENG Qing HE A-ling MA Yong ZHAO Xing-qiang YANG Xiao-hong |
| Abstract: | |
| Keywords: | transparent conducting films p-type CuAlO2 e-beam evaporation |
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