| ECR-CVD沉积a-C:F薄膜 |
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| 引用本文： | 康健,叶超,辛煜,程珊华,宁兆元.ECR-CVD沉积a-C:F薄膜[J].功能材料,2001,32(5):490-491. |
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| 作者姓名： | 康健 叶超 辛煜 程珊华 宁兆元 |
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| 作者单位： | 苏州大学物理系, |
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| 摘 要： | 采用电子回旋共振等离子体化学气相沉积（ECR－CVD）技术，用苯和三氟甲烷混合气体，制备了氟化非晶碳膜（a-C:F)。用红外吸收光谱（FTIR）和X射线光电子能谱（XPS）分析了a-C:F薄膜的结构。FTIR结果表明，氟主要以C－F，CF2的形式成键形成a-C:F薄膜，XPS结果进一步证明a-C:F膜中存在C－F，CF2键，获得了与FTIR相一致的结果。
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| 关 键 词： | a－C：F薄膜 ECR－CVD 键结合 氟化非晶碳膜 |
| 文章编号： | 1001-9731(2001)05-0490-02 |
| 修稿时间： | 2000年6月7日 |
Fluorinated amorphous carbon thin films grown by ECR-CVD |
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| KANG Jian,YE Chao,XIN Yu,CHEN Shan hua,NING Zhao yuan.Fluorinated amorphous carbon thin films grown by ECR-CVD[J].Journal of Functional Materials,2001,32(5):490-491. |
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| Authors: | KANG Jian YE Chao XIN Yu CHEN Shan hua NING Zhao yuan |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ECR-CVD |
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