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| 晶体硅微粉气相氮化及氮氧化条件 | |
| 引用本文： | 明亮,尹传强,魏秀琴,周浪.晶体硅微粉气相氮化及氮氧化条件[J].材料科学与工程学报,2010,28(3). |
| 作者姓名： | 明亮 尹传强 魏秀琴 周浪 |
| 作者单位： | 南昌大学,材料学院/太阳能光伏学院,江西,南昌,330031;南昌大学,材料学院/太阳能光伏学院,江西,南昌,330031;南昌大学,材料学院/太阳能光伏学院,江西,南昌,330031;南昌大学,材料学院/太阳能光伏学院,江西,南昌,330031 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 硅 氮化硅 氮氧化硅 粉体 热力学平衡 |
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