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| 激光干涉仪使用中需要注意的问题探讨 | |
| 摘 要： | 正一、激光干涉仪的主要技术指标激光干涉仪的基本测量功能是位移测量,其技术指标是位移测量示值误差。厂家通常称为位移测量准确度、线性测长准确度等。通常的激光干涉仪的位移测量示值误差是±0.5×10-6左右。这种表达方式对于厂家甚至检定机构都是可以的,但是对于使用者就不行了,应该准确的表示为A+BL,A是常数量,B是与量值有关的线性系数,L是位移值。前面的表达 |
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