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MOEMS阵列光开关的微反射镜的制作
引用本文:董玮,张歆东,刘彩霞,贾翠萍,潘建旋,孙东明,徐宝琨,王立军,陈维友.MOEMS阵列光开关的微反射镜的制作[J].高技术通讯,2005,15(3):53-55.
作者姓名:董玮  张歆东  刘彩霞  贾翠萍  潘建旋  孙东明  徐宝琨  王立军  陈维友
作者单位:1. 吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室,长春,130012;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春,130022
2. 吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室,长春,130012
3. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春,130022
基金项目:863计划资助 (2 0 0 2AA3 12 0 2 3 ),教育部跨世纪优秀人才培养计划资助,吉林大学创新基金资助项目
摘    要:通过各向异性湿法腐蚀工艺利用 (110 )硅片制作了 8× 8阵列光开关的微反射镜阵列 ,反射镜面为 { 111}面 ,表面粗糙度低于 10nm ,垂直度好于用同样的方法在 (10 0 )硅片上制作的反射镜。

关 键 词:微反射镜  光开关  硅片  MOEMS  湿法腐蚀  阵列  反射镜面  制作

Fabrication of reflective micromirror for MOEMS array optical switches
Dong Wei,Zhang Xindong,Liu Caixia,Jia Cuiping,Pan Jianxuan,Sun Dongming,Xu Baokun,Wang Lijun,Chen Weiyou.Fabrication of reflective micromirror for MOEMS array optical switches[J].High Technology Letters,2005,15(3):53-55.
Authors:Dong Wei  Zhang Xindong  Liu Caixia  Jia Cuiping  Pan Jianxuan  Sun Dongming  Xu Baokun  Wang Lijun  Chen Weiyou
Abstract:
Keywords:Optical switch  (110) silicon wafer  Reflective micromirror
本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录!
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