| 计量型原子力显微镜 |
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| 引用本文： | M. Bienias,K. Hasche,R. Seemann,K. Thiele,赵克功,高思田,徐毅.计量型原子力显微镜[J].计量学报,1998,19(1):1-8. |
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| 作者姓名： | M. Bienias K. Hasche R. Seemann K. Thiele 赵克功 高思田 徐毅 |
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| 作者单位： | 1. 德国联邦物理技术研究院,柏林
2. 中国计量科学研究院,北京,100013 |
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| 基金项目： | 德国联邦经济技术和发展部资助,中国国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 本文报导国际上研制的第一台在纳米测量中，在中等测量范围内，具有微型光纤传导激光干涉三维测量系统、可自校准和进行绝对测量的计量型原子力显微镜。它的诞生，可使目前用于纳米技术研究的扫描隧道显微镜定量化，并将其所测量的纳米量值直接与米定义相衔接。使人们更加准确地了解纳米范围内的各种物理现象，并对它们进行更精确的分析。文章对计量型原子力显微镜进行了理论分析，提出了对各种测量误差的抑制及其补偿方法，并进行了大量的实验，得到良好的结果。目前，该计量型原子力显微镜在其测量范围内，任意两点间距离的测量不确定度为Ｕ９５＝５ｎｍ＋２×１０－４ｌ；在ｚ－轴上的测量不确定度为Ｕ９５＝（１．１～１．２ｎｍ）＋２×１０－４ｈ。
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| 关 键 词： | 计量型原子力显微镜 微型光纤传导激光干涉测量系统 误差合成数学模型 |
A Metrological Atomic Force Microscope |
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| M. Bienias,K. Hasche,R. Seemann,K. Thiele,Zhao Kegong,Gao Sitian,Xu Yi.A Metrological Atomic Force Microscope[J].Acta Metrologica Sinica,1998,19(1):1-8. |
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| Authors: | M Bienias K Hasche R Seemann K Thiele Zhao Kegong Gao Sitian Xu Yi |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Metrological atomic force microscope Miniature-size laser interferometer system with an optical fibre to transmit laser beam Mathematical model for combining measurement errors |
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