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| 合成金刚石的某些方法评介 | |
| 引用本文： | 罗崇泰,黄良甫,李梦轲,刘定权.合成金刚石的某些方法评介[J].真空与低温,1990(2). |
| 作者姓名： | 罗崇泰 黄良甫 李梦轲 刘定权 |
| 作者单位： | 兰州物理研究所，兰州物理研究所，兰州物理研究所，兰州物理研究所 |
| 摘 要： | 首先扼要阐述了与金刚石薄膜制备技术有关的等离子体特性,随后着重介绍了金刚石薄膜制备技术的最新进展。根据沉积工艺参数和装置的结构评价了各种技术的优缺点。最后指出了目前这些技术中存在的问题。 |
| 关 键 词： | 金刚石 薄膜 真空镀膜 等离子沉积 |
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