| AZO透明导电薄膜的制备技术及应用进展 |
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| 引用本文： | 刘玉萍,陈枫,郭爱波,李斌,但敏,刘明海,胡希伟.AZO透明导电薄膜的制备技术及应用进展[J].真空与低温,2007,13(1):1-5,20. |
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| 作者姓名： | 刘玉萍 陈枫 郭爱波 李斌 但敏 刘明海 胡希伟 |
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| 作者单位： | 华中科技大学,电气与电子工程学院,湖北,武汉,430074 |
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| 基金项目： | 华中科技大学校科研和教改项目;教育部留学回国人员科研启动基金 |
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| 摘 要： | 概述了国内外AZO透明导电薄膜的多种制备技术和开发应用进展。详细介绍了磁控溅射、溶胶-凝胶、脉冲激光沉积、真空蒸镀、化学气相沉积等工艺在AZO薄膜制备中的研究现状,并且在对AZO膜与ITO膜性能比较的基础上,指出AZO薄膜的产业化前景好。
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| 关 键 词： | AZO薄膜 制备技术 综述 透明导电氧化物薄膜 |
| 文章编号： | 1006-7086(2007)01-0001-05 |
| 修稿时间： | 2006年9月25日 |
PREPARATION AND APPLICATION OF TRANSPARENT CONDUCTIVE AZO THIN FILM |
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| LIU Yu-ping,CHEN Feng,GUO Ai-bo,LI Bin,DAN Min,LIU Ming-hai,HU Xi-wei.PREPARATION AND APPLICATION OF TRANSPARENT CONDUCTIVE AZO THIN FILM[J].Vacuum and Cryogenics,2007,13(1):1-5,20. |
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| Authors: | LIU Yu-ping CHEN Feng GUO Ai-bo LI Bin DAN Min LIU Ming-hai HU Xi-wei |
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| Abstract: | The multiform preparation technologies and applications developments on AZO thin film are described.The current research status of magnetron sputtering,sol-gel,Pulsed laser deposition,vacuum evaporating and chemical-vapor deposition techniques applied in the preparation of AZO thin film is introduced in detail.The industrialization for AZO films in the future is more promiseful than ITO thin film. |
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| Keywords: | AZO thin film preparation technology summarize transparent conducting oxide film |
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