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| 实用超高真空校准方法 | |
| 引用本文： | 叶唐立.实用超高真空校准方法[J].真空与低温,1988(3). |
| 作者姓名： | 叶唐立 |
| 作者单位： | 中国计量学院 杭州 |
| 摘 要： | 实用超高真空校准装置应结构紧凑、操作简便、价格便宜.提出了一种新的设想,除采用流行的连续流压力衰减法外,介绍了两种全新结构.一是减压定压型微流量计,工作液体使用硅油,预期流量测量范围可达10~(-3)—10~(-7)帕·米~#/秒.二是小孔拓宽结构,对其可行性进行了探讨.所述结构,可根据实际需要组合成特定的超高真空校准装置. |
| 关 键 词： | 超高真空 真空测量 校准 |
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