| ZnO薄膜的制备及p型掺杂研究进展 |
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| 引用本文： | 刘长林,汪建华,熊礼威,翁俊,王文君,李远,陈冠虎.ZnO薄膜的制备及p型掺杂研究进展[J].真空与低温,2009,15(2):63-69. |
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| 作者姓名： | 刘长林 汪建华 熊礼威 翁俊 王文君 李远 陈冠虎 |
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| 作者单位： | 1. 武汉工程大学等离子体化学与新材料重点实验室,湖北,武汉,430073
2. 武汉工程大学等离子体化学与新材料重点实验室,湖北,武汉,430073;中国科学院等离子体物理研究所,安徽,合肥,230031 |
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| 基金项目： | 湖北省高等学校优秀中青年科技创新团队计划 |
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| 摘 要： | 氧化锌是一种在声表面波传感器、压电器件以及太阳能电池等方面具有很好应用前景的材料。介绍了目前制备ZnO薄膜的主要方法,综述了ZnO薄膜p型掺杂的研究现状,并对ZnO薄膜的研究进行了展望。
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| 关 键 词： | ZnO薄膜 制备方法 p型掺杂 |
RECENT PROGRESS ON PREPARATION AND P-TYPE DOPING OF ZnO FILMS |
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| LIU Chang-lin,WANG Jian-hua,XIONG Li-wei,WENG Jun,WANG Wen-jun,LI Yuan,CHEN Guan-hu.RECENT PROGRESS ON PREPARATION AND P-TYPE DOPING OF ZnO FILMS[J].Vacuum and Cryogenics,2009,15(2):63-69. |
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| Authors: | LIU Chang-lin WANG Jian-hua XIONG Li-wei WENG Jun WANG Wen-jun LI Yuan CHEN Guan-hu |
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| Affiliation: | LIU Chang-lin, WANG Jian-hua, XIONG Li-wei, WENG Jun, WANG Wen-jun, LI Yuan, CHEN Guan-hu ( 1. Key Laboratory of Plasma Chemistry and Advanced Material, Wuhan Institute of Technology, Wnhan 430073, China; 2. Institute of Plasma Physics, Chinese Academy of Science, Hefei 230031, China) |
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| Abstract: | Zinc oxide has favorable applications in surface acoustic wave sensor, piezoelectric device, solar cell and other fields. This paper presents the main preparations of ZnO films and review investigation situation of p-type doping ZnO films, also the work of ZnO films is prospected. |
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| Keywords: | ZnO films preparation p-type doping |
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