| 纳米半导体薄膜制备技术 |
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| 引用本文： | 杨恢东,王浩.纳米半导体薄膜制备技术[J].真空与低温,1999,5(2):81-87. |
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| 作者姓名： | 杨恢东 王浩 |
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| 作者单位： | 五邑大学薄膜研究室!广东江门５２９０２０ |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金!69806008，广东省自然科学基金!970716 |
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| 摘 要： | 采用分类综述的方法，介绍了纳米半导体薄膜制备技术的研究进展，并对各种制备技术的特点进行了评价。
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| 关 键 词： | 纳米半导体 薄膜 制备技术 |
PREPARATION TECHNIQUES OF NANOMETER SIZE SEMICONDUCTOR THIN FILMS |
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| Yang Huidong, Wang Hao, Ding Ruiqin.PREPARATION TECHNIQUES OF NANOMETER SIZE SEMICONDUCTOR THIN FILMS[J].Vacuum and Cryogenics,1999,5(2):81-87. |
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| Authors: | Yang Huidong Wang Hao Ding Ruiqin |
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| Abstract: | A review on the progress of the preparation techniques of nanometer size semiconductor thinfilms is pesented in this paper. The characteristic of each preparation method is also appraised. |
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| Keywords: | nanometer semiconductor thin films preparation techniques |
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