|
|||||
|
|
| 微机电系统(MEMS)与纳机电系统(NEMS) | |
| 引用本文： | 周兆英,杨兴,熊继军.微机电系统(MEMS)与纳机电系统(NEMS)[J].测试技术学报,2002,16(Z2):913-921. |
| 作者姓名： | 周兆英 杨兴 熊继军 |
| 作者单位： | 清华大学精密仪器系,北京,100084 |
| 摘 要： | 微机电系统(MEMS)和纳机电系统(NEMS)是微米/纳米技术的重要组成部分.MEMS已经在产业化道路上不断发展,NEMS还处于基础研究阶段.本文强调了制造技术是微/纳机电系统发展的基础,在简单地介绍了典型的MEMS和NEMS器件和系统后,讨论了MEMS和NEMS发展中的几个问题和MEMS和NEMS的发展前景. |
| 关 键 词： | 微机电系统(MEMS) 纳机电系统(NEMS) 微米纳米技术 |
| 修稿时间： | 2002年3月23日 |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |