| 高速微转子在MEMS情况下的几个问题 |
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| 引用本文： | 黄海,孟光.高速微转子在MEMS情况下的几个问题[J].测试技术学报,2004,18(Z3):15-18. |
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| 作者姓名： | 黄海 孟光 |
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| 作者单位： | 上海交通大学,振动、冲击、噪声国家重点实验室,上海,200240 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金杰出青年基金资助(10325209) |
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| 摘 要： | 本文在总结国内外微机械研究现状的基础上,讨论了在MEMS情况下结构材料物理特性的尺度效应、摩擦和磨损问题以及转子系统的流场数值模拟问题和流固耦合问题,对微马达的转子系统具有重要影响的问题.
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| 关 键 词： | MEMS 尺度效应 摩擦 流场分析 |
| 修稿时间： | 2004年4月12日 |
A Few Problems of High-Speed Micro-Rotor In MEMS |
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| Hai Huang,Guang Meng.A Few Problems of High-Speed Micro-Rotor In MEMS[J].Journal of Test and Measurement Techol,2004,18(Z3):15-18. |
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| Authors: | Hai Huang Guang Meng |
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