| 仿蟋蟀尾毛的MEMS振动传感器
有限元仿真分析 |
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| 引用本文： | 刘林仙,王朝阳,乔楠楠.仿蟋蟀尾毛的MEMS振动传感器
有限元仿真分析[J].测试技术学报,2020,34(4). |
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| 作者姓名： | 刘林仙 王朝阳 乔楠楠 |
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| 作者单位： | 山西大学 自动化系,山西 太原 030006,山西大学 自动化系,山西 太原 030006,山西大学 自动化系,山西 太原 030006 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目;山西省高等学校科技创新资助项目;山西省应用基础研究资助项目 |
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| 摘 要： | 基于MEMS技术和仿生学设计了一种纤毛+薄膜振动传感器敏感结构,由垂直纤毛和两个相互垂直的悬臂梁构成信息接收和传递单元,沉积在与悬臂梁末端固连的硅衬底薄膜上的PZT压电薄膜作为敏感转化单元.建立了该传感器结构的等效运动模型,在此基础上对传感器的输出特性和频率特性进行了数学分析.利用ANSYS有限元软件对不同结构及几何参数的敏感结构进行了仿真分析,对比仿真结果,优化传感器的结构和几何参数.仿真结果表明该结构传感器共振频率达到了6 757.4 Hz.
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| 关 键 词： | 振动传感器 MEMS 共振频率 有限元仿真 |
Finite Element Simulation Analysis of MEMS Vibration Sensor Inspired by the Cricket Tail Hair |
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| LIU Linxian,WANG Zhaoyang,QIAO Nannan.Finite Element Simulation Analysis of MEMS Vibration Sensor Inspired by the Cricket Tail Hair[J].Journal of Test and Measurement Techol,2020,34(4). |
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| Authors: | LIU Linxian WANG Zhaoyang QIAO Nannan |
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| Abstract: | |
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