| 光栅刻划中工作台过冲现象的改善 |
| |
| 引用本文： | 王忠坦,倪争技,洪瑞金,黄元申,张大伟.光栅刻划中工作台过冲现象的改善[J].光电工程,2013(10). |
| |
| 作者姓名： | 王忠坦 倪争技 洪瑞金 黄元申 张大伟 |
| |
| 作者单位： | 上海理工大学 光电信息与计算机工程学院,上海,200093 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(61176085;11105149)；国家科技支撑计划(2011BAF02804)；国家重大科学仪器设备开发专项 |
| |
| 摘 要： | 在分度运动控制系统中以 DMC2210控制卡为核心，采用光栅尺为分度运动反馈器件，实现了高精度的实时监测反馈。针对工作台“过冲”现象进行了两方面的分析优化：一方面，分析了步进电机减速方式对刻划效果的影响，通过分段减速初步改善了工作台“过冲”现象；另一方面，分析并模拟了弹簧(联接工作台和分度丝杠螺母)刚度对工作台“过冲”问题的影响，更换大刚度弹簧后，很大程度改善了工作台“过冲”现象。改进后对光栅刻线密度为79 g/mm的中阶梯光栅进行了多次刻划试验，计算的机器分度精度均在5 nm以内，选取其中一组较好的数据(机器分度精度为2.887 nm)与之前多次刻划试验中较好的一组数据(机器分度精度为7.759 nm)进行了比较，结果表明刻划机分度精度得到很大的提高。
|
| 关 键 词： | 光栅尺 过冲 弹簧刚度 分度精度 |
Improving the Phenomenon of Workbench’s Overshoot in the Grating Process |
| |
| WANG Zhongtan
,
NI Zhengji
,
HONG Ruijin
,
HUANG Yuanshen
,
ZHANG Dawei.Improving the Phenomenon of Workbench’s Overshoot in the Grating Process[J].Opto-Electronic Engineering,2013(10). |
| |
| Authors: | WANG Zhongtan NI Zhengji HONG Ruijin HUANG Yuanshen ZHANG Dawei |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | linear encoder overshoot spring’s stiffness indexing precision |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
