| 平面连续抛光技术在大尺寸异型石英轻质镜制造中的应用 |
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| 引用本文： | 杨力,周晨波,陈强,耿彦生,王家金,廖锦屏.平面连续抛光技术在大尺寸异型石英轻质镜制造中的应用[J].光电工程,1998(4). |
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| 作者姓名： | 杨力 周晨波 陈强 耿彦生 王家金 廖锦屏 |
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| 作者单位： | 中国科学院光电技术研究所 |
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| 基金项目： | 国家863高技术研究计划 |
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| 摘 要： | 报导了采用１．６ｍ直径连续抛光机制造５８６ｍｍ×４４０ｍｍ、２０边形反射面板的大尺寸异型轻质平面反射镜的光学表面抛光技术。讨论了平面连续抛光理论和抛光工艺设备及特点。给出了最终制造结果。
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| 关 键 词： | 轻质反射镜，抛光，工艺过程 |
The Application of Continuous Polishing Technology to Manufacturing of a Large Size Special Shaped Lightweight Silicon Plane Mirror |
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| Yang Li,Zhou Chenbo,Chen Qiang,Geng Yansheng Wang Jiajin,Liao Jinping.The Application of Continuous Polishing Technology to Manufacturing of a Large Size Special Shaped Lightweight Silicon Plane Mirror[J].Opto-Electronic Engineering,1998(4). |
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| Authors: | Yang Li Zhou Chenbo Chen Qiang Geng Yansheng Wang Jiajin Liao Jinping |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Lightweight mirrors Polishing Technological processes |
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