| 微透镜阵列与针孔阵列合成的微光学器件的研制 |
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| 引用本文： | 王昭,孔兵,谭玉山.微透镜阵列与针孔阵列合成的微光学器件的研制[J].光电工程,2001,28(6):17-19,47. |
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| 作者姓名： | 王昭 孔兵 谭玉山 |
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| 作者单位： | 西安交通大学机械学院激光与红外技术应用研究所,陕西,西安,710049 |
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| 基金项目： | 西安交通大学教育行动计划A[2000]0000063资助项目，西安交通大学在职博士基金99-522资助项目 |
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| 摘 要： | 给出用于并行共焦显微镜中的微光学阵列器件的制作工艺。特别设计了微透镜阵列与针孔阵列对准粘接的机械和观察系统。实验证明系统是简易可行的，并给出了实验结果。
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| 关 键 词： | 微型光学元件 微透镜阵列 共焦测量 针孔阵列合成 |
| 文章编号： | 1003-501X(2001)06-0017-03 |
Development of Micro-Optical Devices Composed with the Microlens and Pinhole Arrays |
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| WANG Zhao,KONG Bing,TAN Yu-shan.Development of Micro-Optical Devices Composed with the Microlens and Pinhole Arrays[J].Opto-Electronic Engineering,2001,28(6):17-19,47. |
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| Authors: | WANG Zhao KONG Bing TAN Yu-shan |
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| Abstract: | The fabrication technologies for micro-optical array devices used for parallel confocal microscope are given in the paper. The mechanics and the observing system for aligning and bonding microlens arrays with pinhole arrays are specially designed. The experiments demonstrate that the system is simple and feasible. The experimental results are also given. |
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| Keywords: | Micro-optical elements Microlens arrays Confocal measurements |
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