| 利用灰度图提高Fourier变换轮廓术的测量精度 |
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| 引用本文： | 陈文静,苏显渝,苏礼坤,李万松,向立群.利用灰度图提高Fourier变换轮廓术的测量精度[J].光电工程,2000,27(3):55-59. |
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| 作者姓名： | 陈文静 苏显渝 苏礼坤 李万松 向立群 |
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| 作者单位： | 四川大学光电系,四川,成都,610064 |
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| 基金项目： | 高等学校博士学科点专项科研项目，， |
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| 摘 要： | 在ＦＴＰ测量中，常利用π相移方法来消除零频，以避免谱频混叠，提高ＦＴＰ的测量精度。此时，测量系统中包含相移装置，增加了系统的复杂性。然而，人们常常忽略了灰度图中包含的信息在ＦＴＰ测量中的作用。本文提出了在ＦＴＰ测量中利用一帧灰度图来提高测量精度的方法，该方法测量装置简单，又可以达到π相移的效果，在实际的ＦＴＰ测量中的意义。
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| 关 键 词： | 傅里叶变换轮廓术 灰度图 频谱 测量精度 |
| 修稿时间： | : |
Improvement for Measuring Accuracy of Fourier Transform Profilometry with Gray Image |
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| CHEN Wen-jing,SU Xian-yu,SU Li-kun,LI Wan-song,XIANG Li-qun.Improvement for Measuring Accuracy of Fourier Transform Profilometry with Gray Image[J].Opto-Electronic Engineering,2000,27(3):55-59. |
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| Authors: | CHEN Wen-jing SU Xian-yu SU Li-kun LI Wan-song XIANG Li-qun |
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| Keywords: | Fourier transform profilometry Gray image Spectrum Measuring accuracy |
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