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误差扩散法编码设计制作微光学元件
引用本文:刘倩,张怡霄,郭永康,刘波,温圣林,唐雄贵. 误差扩散法编码设计制作微光学元件[J]. 光电工程, 2006, 33(6): 106-110
作者姓名:刘倩  张怡霄  郭永康  刘波  温圣林  唐雄贵
作者单位:1. 四川大学,物理学院,四川,成都,610064;中国科学院光电技术研究所,四川,成都610209
2. 四川大学,物理学院,四川,成都,610064
基金项目:国家自然科学基金委员会-中国工程物理研究院联合资助项目
摘    要:以发展微光学元件制作新方法为目标,提出利用误差扩散编码方法设计灰阶编码掩模制作微光学元件。此方法同其他编码方法相比,具有量化效果好、衍射效率高、制作文件小、计算速度快、通用性好等优点。用此方法对制作微透镜的掩模进行了设计,利用预校正法和边缘增强法相结合的方法对掩模进行了优化,并对曝光、显影过程进行了模拟,得到了满意的结果。

关 键 词:微光学  灰阶编码掩模  误差扩散法  边缘增强法  微透镜
文章编号:1003-501X(2006)06-0106-05
收稿时间:2005-12-20
修稿时间:2006-03-20

Fabrication of micro optical elements with coding gray-tone mask designed by error-diffusion method
LIU Qian,ZHANG Yi-xiao,GUO Yong-kang,LIU Bo,WEN Sheng-lin,TANG Xiong-gui. Fabrication of micro optical elements with coding gray-tone mask designed by error-diffusion method[J]. Opto-Electronic Engineering, 2006, 33(6): 106-110
Authors:LIU Qian  ZHANG Yi-xiao  GUO Yong-kang  LIU Bo  WEN Sheng-lin  TANG Xiong-gui
Affiliation:1. Physics Department of Sichuan University, Chengdu 610064, China; 2. The Institute of Optics and Electronics, the Chinese Academy of Sciences, Chengdu 610209, China
Abstract:
Keywords:Micro-optics  Coding gray-tone mask  Error-diffusion method  Edge-enhancement  Micro-lenses  
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