| 误差扩散法编码设计制作微光学元件 |
| |
| 引用本文： | 刘倩,张怡霄,郭永康,刘波,温圣林,唐雄贵. 误差扩散法编码设计制作微光学元件[J]. 光电工程, 2006, 33(6): 106-110 |
| |
| 作者姓名： | 刘倩 张怡霄 郭永康 刘波 温圣林 唐雄贵 |
| |
| 作者单位： | 1. 四川大学,物理学院,四川,成都,610064;中国科学院光电技术研究所,四川,成都610209
2. 四川大学,物理学院,四川,成都,610064 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金委员会-中国工程物理研究院联合资助项目 |
| |
| 摘 要： | 以发展微光学元件制作新方法为目标,提出利用误差扩散编码方法设计灰阶编码掩模制作微光学元件。此方法同其他编码方法相比,具有量化效果好、衍射效率高、制作文件小、计算速度快、通用性好等优点。用此方法对制作微透镜的掩模进行了设计,利用预校正法和边缘增强法相结合的方法对掩模进行了优化,并对曝光、显影过程进行了模拟,得到了满意的结果。
|
| 关 键 词： | 微光学 灰阶编码掩模 误差扩散法 边缘增强法 微透镜 |
| 文章编号： | 1003-501X(2006)06-0106-05 |
| 收稿时间： | 2005-12-20 |
| 修稿时间： | 2006-03-20 |
Fabrication of micro optical elements with coding gray-tone mask designed by error-diffusion method |
| |
| LIU Qian,ZHANG Yi-xiao,GUO Yong-kang,LIU Bo,WEN Sheng-lin,TANG Xiong-gui. Fabrication of micro optical elements with coding gray-tone mask designed by error-diffusion method[J]. Opto-Electronic Engineering, 2006, 33(6): 106-110 |
| |
| Authors: | LIU Qian ZHANG Yi-xiao GUO Yong-kang LIU Bo WEN Sheng-lin TANG Xiong-gui |
| |
| Affiliation: | 1. Physics Department of Sichuan University, Chengdu 610064, China; 2. The Institute of Optics and Electronics, the Chinese Academy of Sciences, Chengdu 610209, China |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | Micro-optics Coding gray-tone mask Error-diffusion method Edge-enhancement Micro-lenses |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
