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| 一种新的正弦相位调制干涉条纹相位稳定方法 | |
| 引用本文： | 伯恩,段发阶,冯帆,吕昌荣,傅骁.一种新的正弦相位调制干涉条纹相位稳定方法[J].光电工程,2014,41(8):27. |
| 作者姓名： | 伯恩 段发阶 冯帆 吕昌荣 傅骁 |
| 作者单位： | 伯恩:天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室, 天津 300072 段发阶:天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室, 天津 300072 冯帆:天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室, 天津 300072 吕昌荣:天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室, 天津 300072 傅骁:天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室, 天津 300072 |
| 基金项目： | 国家“863”计划资助 (2013AA102402); 国家自然基金资助 (51275349) |
| 摘 要： | 在基于条纹投射的物体表面形貌测量中,温度漂移和振动是造成条纹相位漂移的主要因素。为了稳定条纹相位,在相位补偿系统(PCS)中运用峰值检测简化相位提取过程,发展了一种基于正弦相位调制的干涉条纹相位稳定技术。将光纤缠绕在柱形压电陶瓷(PZT)上,向PZT注入正弦驱动电压实现对干涉条纹相位的正弦相位调制。运用2×2光纤耦合器分光,结合马赫-泽德干涉与杨氏干涉结构实现条纹投射。光电探测器检测两端面反射信号形成的迈克尔逊干涉信号,从中提取环境因素引起的相位漂移,运用旋转坐标数字机进行快速反正弦计算,生成的补偿信号与调制信号叠加后共同驱动PZT,实现条纹相位稳定。实验结果表明,条纹相位稳定精度为5.5 mrad,较好地消除环境因素引起的相位漂移。 |
| 关 键 词： | 精密测量 表面形貌 正弦相位调制 相位稳定 峰值检测 |
| 收稿时间： | 2013/11/13 |
A New Phase Stabilization Method for Interference Fringe Projection Using Sinusoidal Phase Modulation |
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| Abstract: | |
| Keywords: | precision measurement surface profile SPM phase stabilization peak detection |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |