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| 高均匀长工作深度激光整形系统设计 | |
| 引用本文： | 余金清,尹韶云,殷智勇,董小春,孙秀辉,苟健,杜春雷.高均匀长工作深度激光整形系统设计[J].光电工程,2014,41(8):80. |
| 作者姓名： | 余金清 尹韶云 殷智勇 董小春 孙秀辉 苟健 杜春雷 |
| 作者单位： | 余金清:中国科学院成都光电技术研究所微纳加工实验室, 成都 610209 尹韶云:中国科学院重庆绿色智能技术研究所微纳制造与系统集成中心, 重庆 401122 殷智勇:军械工程学院电子与光学工程系, 石家庄 050003 董小春:中国科学院成都光电技术研究所微纳加工实验室, 成都 610209 孙秀辉:中国科学院重庆绿色智能技术研究所微纳制造与系统集成中心, 重庆 401122 苟健:中国科学院成都光电技术研究所微纳加工实验室, 成都 610209 杜春雷:中国科学院重庆绿色智能技术研究所微纳制造与系统集成中心, 重庆 401122 |
| 基金项目： | 重庆市科技计划项目 (cstc2012ggC90003); 国家自然基金项目 (11174281、61275061)资助 |
| 摘 要： | 高功率固体激光器对入射的泵浦光具有严格的均匀性和工作深度要求。本文通过将微透镜阵列与长焦深菲涅尔透镜结合,对半导体激光器阵列光束进行整形,获得在长工作深度范围内的均匀光斑。本文针对dilas E15Y-808.3-1260C半导体激光器阵列设计了目标光斑大小为4 mm×4 mm的三维激光整形系统。仿真结果表明,该光束整形系统与传统的多通道光束积分整形系统相比,在光斑尺寸与均匀性保持不变的情况下,工作深度增加了2倍。 |
| 关 键 词： | 光束整形 微透镜阵列 菲涅尔透镜 长焦深 |
| 收稿时间： | 2013/11/16 |
High Uniform Long Working Depth Laser Shaping System Design |
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| Abstract: | |
| Keywords: | laser beam shaping microlens array Fresnel lens long focus depth |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |