| 大口径非球面Ronchi光栅测量方法 |
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| 引用本文： | 雷柏平,伍凡,陈强.大口径非球面Ronchi光栅测量方法[J].光电工程,2007,34(4):140-144. |
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| 作者姓名： | 雷柏平 伍凡 陈强 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院光电技术研究所,四川,成都,610209;中国科学院研究生院,北京,100039
2. 中国科学院光电技术研究所,四川,成都,610209 |
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| 摘 要： | 在对非球面加工过程中常用检测方法的优缺点进行比较的基础上,介绍了Ronchi光栅法的系统组成、工作原理和数据处理方法,并进行了光栅频率和灵敏度分析.通过对Ronchi光栅的频率、灵敏度的分析比较,发现可以通过改变其频率来实现大口径非球面不同加工阶段2～200 μm范围内的误差检测.该方法制作简单,使用方便.它的深入研究,将为大口径非球面精磨和初抛光阶段提供一种有效、可靠的定量检测手段.
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| 关 键 词： | 郎奇光栅 郎奇条纹 补偿光栅 大口径非球面 |
| 文章编号： | 1003-501X(2007)05-0140-05 |
| 收稿时间： | 2006/9/6 |
| 修稿时间： | 2006-09-06 |
Measurement of large-aperture aspheric surfaces with Ronchi grating test method |
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| LEI Bai-ping,WU Fan,CHEN Qiang.Measurement of large-aperture aspheric surfaces with Ronchi grating test method[J].Opto-Electronic Engineering,2007,34(4):140-144. |
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| Authors: | LEI Bai-ping WU Fan CHEN Qiang |
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| Affiliation: | 1. The Institute of Optics and Electronics, the Chinese Academy of Sciences, Chengdu 610209, China; 2. Graduate School of the Chinese Academy of Sciences, Beijing 100039. China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Ronchi grating Ronchi ruling Null grating Large-aperture aspheric surface |
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