|
|||||
|
|
| 微加工静电排斥驱动器特性分析 | |
| 引用本文： | 陶逢刚,姚军,汪为民,庄须叶,张恒,胡放荣.微加工静电排斥驱动器特性分析[J].光电工程,2011,38(12):41-47. |
| 作者姓名： | 陶逢刚 姚军 汪为民 庄须叶 张恒 胡放荣 |
| 作者单位： | 1. 中国科学院光电技术研究所,成都610209;中国科学院研究生院,北京100049 2. 中国科学院光电技术研究所,成都,610209 3. 桂林电子科技大学电子工程学院,广西桂林,541004 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金项目，四川省青年科学基金项目，西部之光博士资助项目 |
| 摘 要： | 基于非均匀电场可产生静电排斥力的原理,设计制造了单元尺寸为300 μm的MEMS静电排斥型离面驱动器.此驱动器不受静电吸合效应的限制,行程较传统静电吸引型驱动器有显著提高.利用表面硅工艺完成了该驱动器的加工.为研究静电排斥型驱动器的动态响应特性,建立了该驱动器的等效模型并利用数值计算方法分析了驱动器的压膜阻尼特性和幅频... |
| 关 键 词： | MEMS 静电排斥微驱动器 压膜阻尼效应 动态分析 |
Analysis of Characteristics of Micromachined Electrostatic Repulsive Actuator |
|
| TAO Feng-gang,YAO Jun,WANG Wei-min,ZHUANG Xu-ye,ZHANG Heng,HU Fang-rong.Analysis of Characteristics of Micromachined Electrostatic Repulsive Actuator[J].Opto-Electronic Engineering,2011,38(12):41-47. | |
| Authors: | TAO Feng-gang YAO Jun WANG Wei-min ZHUANG Xu-ye ZHANG Heng HU Fang-rong |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |