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| 低噪声双波长数字全息及在超精密加工表面检测中的应用 | |
| 引用本文： | 潘卫清,龚国芳,范玉峰.低噪声双波长数字全息及在超精密加工表面检测中的应用[J].光电工程,2015,42(1):25. |
| 作者姓名： | 潘卫清 龚国芳 范玉峰 |
| 作者单位： | 1. 浙江科技学院 理学院; 浙江大学机械工程学系，杭州 310027 2. 浙江大学机械工程学系,杭州,310027 3. 浙江科技学院 微光学制造研究所,杭州,310023 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(51005212) |
| 摘 要： | 通过两个不同波长的数字全息包裹相位差产生数字拍频，得到一个等效波长相位图以消除相位包裹，然后用该等效波长相位光程与任一记录波长做比较，确定单波长包裹相位中相位跳变的位置和跳变倍率，进而实现了单波长包裹相位展开，使相位噪声不随等效波长相位展开而放大，结果表明该方法可使相位噪声引入的误差减小2Λ/λm倍。用650 nm和632.8 nm两个波长的激光对用快刀伺服加工的微结构光学元件表面进行了数字全息测量，得到了等效波长为0.024 mm的加工纹理相位展开图，并用频谱滤波得到了元件微观形貌的低频和高频三维数据，各频段表面的粗糙度分别为33.2 nm，19.3 nm，23.4 nm，分析了各种微观结构产生的原因，并对快刀加工的切削参数进行了分析。 |
| 关 键 词： | 双波长干涉 微结构表面检测 数字相位测量 相位解包裹 |
| 收稿时间： | 2014/3/11 |
Low Noisy Dual Wavelength Digital Holography and Application in the Ultra-precision Machining Surface Measurement |
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| PAN Weiqing , GONG Guofang , FAN Yufeng.Low Noisy Dual Wavelength Digital Holography and Application in the Ultra-precision Machining Surface Measurement[J].Opto-Electronic Engineering,2015,42(1):25. | |
| Authors: | PAN Weiqing GONG Guofang FAN Yufeng |
| Abstract: | |
| Keywords: | dual wavelength interferometry microstructure surface measurement digital phase measurement phase unwrapped |
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