| 离子束薄膜合成及其应用 |
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| 引用本文： | 柳襄怀,李昌荣,郑志宏,杨根庆,王曦,邹世昌.离子束薄膜合成及其应用[J].功能材料与器件学报,2001,7(2):113-115. |
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| 作者姓名： | 柳襄怀 李昌荣 郑志宏 杨根庆 王曦 邹世昌 |
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| 作者单位： | 中国科学院 |
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| 摘 要： | 报道了科学院离子束开放研究实验室在离子束薄膜合成研究和应用方面的发展和现状。着重介绍离子束辅助沉积薄合成、真空磁过滤弧源沉积薄膜生长，以及离子注入SOI材料合成的方法及其物理过程，同时也对离子束合成薄膜在工业及国防上的应用进行了探讨。
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| 关 键 词： | 离子束辅助沉积 真空磁过滤弧源沉积 SOI 薄膜合成 |
| 文章编号： | 1007－4252(2001)02－0113－03 |
| 修稿时间： | 2001年2月13日 |
Thin film syntheses and applications using ion beam technology |
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| LIU Xiang-huai,LI Chang-rong,ZHENG Zhi-hong,YANG Gen-qing,WANG Xi,ZOU Shi-chang.Thin film syntheses and applications using ion beam technology[J].Journal of Functional Materials and Devices,2001,7(2):113-115. |
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| Authors: | LIU Xiang-huai LI Chang-rong ZHENG Zhi-hong YANG Gen-qing WANG Xi ZOU Shi-chang |
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| Abstract: | Thin film synthesis and applications using ion beam technology at Ion Beam Laboratory,Chinese Academy of Sciences,were reviewed.The results of surface modification of materials prepared by Ion Beam Assisted Deposition (IBAD), Filtered Arc Deposition (FAD) and Silicon－ On－ Insulator (SOI) by ion implantation were reported. The industrial and military applications of ion beam technology were dicussed as well. |
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| Keywords: | IBAD FAD SOI |
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