| 类金刚石薄膜作为阴极阵列的场发射显示器研制 |
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| 引用本文： | 冯涛,茅东升,李炜,柳襄怀,王曦,张福民,李琼,徐静芳,诸玉坤.类金刚石薄膜作为阴极阵列的场发射显示器研制[J].功能材料与器件学报,2002,8(3):293-296. |
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| 作者姓名： | 冯涛 茅东升 李炜 柳襄怀 王曦 张福民 李琼 徐静芳 诸玉坤 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束开放研究实验室,上海200050
2. 华东师范大学电子科学与技术系,上海200062 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助(No.59972039)，国家973资助(No.G2000067207-2) |
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| 摘 要： | 采用真空磁过滤弧沉积（FAD）的方法制备的金刚石（DLC）薄膜具有良好的场发射性能。通过离子束技术和微细加工技术可以实现DLC薄膜的图形化并能大大提高薄膜的场发射性能。测试表明，DLC薄膜孔洞阵列具有很好的电子场发射性能，阈值电场达到了2.1V/μm，当场强为14.3V/μm时，电流密度达到了1.23mA/cm^2。利用图形化的DLC薄膜作为阴极，设计和制作了矩阵选址单色场发射显示器（FED）样管。
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| 关 键 词： | 类金刚石薄膜 阴极阵列 场发射显示器 |
| 文章编号： | 1007-4252(2002)03-0293-04 |
| 修稿时间： | 2001年9月17日 |
Fabrication of field emission display using diamond- like- carbon thin film as cathode array |
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| FENG Tao ,MAO Dong -sheng ,LI Wei ,LIU Xiang -huai ,WANG Xi ,ZHANG Fu -min ,LI Qiong ,XU Jing -fang ,ZHU Yu -kun.Fabrication of field emission display using diamond- like- carbon thin film as cathode array[J].Journal of Functional Materials and Devices,2002,8(3):293-296. |
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| Authors: | FENG Tao MAO Dong -sheng LI Wei LIU Xiang -huai WANG Xi ZHANG Fu -min LI Qiong XU Jing -fang ZHU Yu -kun |
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| Affiliation: | FENG Tao 1,MAO Dong -sheng 1,LI Wei 1,LIU Xiang -huai 1,WANG Xi 1,ZHANG Fu -min 1,LI Qiong 2,XU Jing -fang 2,ZHU Yu -kun 2 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | diamond -like -carbon(DLC) pattern field emission display(FED) |
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