| 微型静电悬浮Z向加速度计的计算机模拟 |
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| 引用本文： | 李宝清,何国鸿.微型静电悬浮Z向加速度计的计算机模拟[J].功能材料与器件学报,1996,2(3):158-165. |
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| 作者姓名： | 李宝清 何国鸿 |
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| 作者单位： | 中科院上海冶金研究所传感技术国家重点实验室，浙江大学信息与电子工程学系，复旦大学电子工程系 |
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| 基金项目： | 国家科委攀登计划B项目,自然科学基金 |
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| 摘 要： | 本工作针对一种新型的电容式力平衡加速度计－微型静电悬浮Ｚ向加速度进行了计算机模拟。模拟中的Ｚ向加速度计拟采用微机械加工技术在硅片上制作，利用静电悬浮原理平衡质量块，感应加速度并输出信号。计算机模拟分析了加速度计的悬浮特性，稳定特性，响应特性。对Ｃ－Ｆ转换电路的输出特性也进行了分析，该电路可用ＣＭＯＳ工艺集成在加速度传感器的周围。模拟结果表明该加速度计的悬浮特性，稳定特性，响应特性。对Ｃ－Ｆ转换电路
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| 关 键 词： | 微机械 悬浮 加速度计 计算机模拟 |
COMPUTER SIMULATION OF MICRO- MACHINING Z-AXIS ACCELEROMETER WITH AN ELECTROSTATIC LEVITATING SEISMIC MASS |
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| LI Baoqing,LU Deren,XIONG Bin,LU Pingfang,HE Guohong,BAO Minhang,WANG Weiyuan.COMPUTER SIMULATION OF MICRO- MACHINING Z-AXIS ACCELEROMETER WITH AN ELECTROSTATIC LEVITATING SEISMIC MASS[J].Journal of Functional Materials and Devices,1996,2(3):158-165. |
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| Authors: | LI Baoqing LU Deren XIONG Bin LU Pingfang HE Guohong BAO Minhang WANG Weiyuan |
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| Abstract: | Anew silicon capacitive accelerometer with force balance technology is proposed. The micromachining technology is suggested to fabricate the accelerometer.Based on the principle of electrostatic levitation,the seismic mass is levitated and feels the acceleration.Arelated circuit which can be integrated around the sensor is simulated. After analysis of the characteristics of its levitation, stability,dynamics and the related circuit, it is found that the sensitive element is very rigid and its sensitivity is about 40kHz/g. |
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| Keywords: | Micro-machining levitation accelerometer |
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