| 软基片上ITO薄膜的光电特性 |
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| 引用本文： | 陈猛,白雪冬,黄荣芳,闻立时.软基片上ITO薄膜的光电特性[J].功能材料与器件学报,1999,5(1):61-65. |
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| 作者姓名： | 陈猛 白雪冬 黄荣芳 闻立时 |
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| 作者单位： | 中国科学院金属研究所!沈阳，110015，中国科学院金属研究所!沈阳，110015，中国科学院金属研究所!沈阳，110015，中国科学院金属研究所!沈阳，110015 |
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| 摘 要： | 利用直流反应磁控溅射技术，室温下在聚脂膜基片上制备了优良的ITO透明导电薄膜．研究了沉积速率，靶基距，氧流量以及厚度对薄膜光电性能的影响．所得薄膜的最低电阻率为4．23×10-4Ω·cm，可见光区平均透射率大于78％．对应于低电阻率（～10-4Ω·cm）和高透射率（～78＄）的反应窗口较文献中已报道的数据明显扩大．
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| 关 键 词： | ITO 聚脂膜 电阻率 透射率 反应窗口 光电特性 |
OPTICAL AND ELECTRICAL CHARACTERISTICS OF ITO FILMS DEPOSITED ON POLYMER |
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| CHEN Meng, BAI Xuedong, HUANG Rongfang, WEN Lishi.OPTICAL AND ELECTRICAL CHARACTERISTICS OF ITO FILMS DEPOSITED ON POLYMER[J].Journal of Functional Materials and Devices,1999,5(1):61-65. |
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| Authors: | CHEN Meng BAI Xuedong HUANG Rongfang WEN Lishi |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ITO Polymer Resistivity Transmittance Process window |
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