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| 多晶硅钟罩旋转清洗装置研究和设计 | |
| 引用本文： | 顾国宝,王世松,廖福宇,刘枢.多晶硅钟罩旋转清洗装置研究和设计[J].硅谷,2013(16):12+11-12,11. |
| 作者姓名： | 顾国宝 王世松 廖福宇 刘枢 |
| 作者单位： | 昆明冶研新材料股份有限公司 |
| 摘 要： | 采用改良西门子法生产多晶硅,其中还原炉和氢化炉是改良西门子法生产多晶硅的核心设备,钟罩的洁净直接影响生产能耗及成本,通过研究设计旋转清洗装置有效解决生产实际问题,为生产提供强有力的保障,为公司节能降耗提供措施。该研究已获得成功并已经申报专利,发明专利号为201310209212.6。 |
| 关 键 词： | 多晶硅 还原炉 氢化炉 清洗装置 |
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