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| 光针式轮廓仪的研制 | |
| 引用本文： | 谢峰,李建林.光针式轮廓仪的研制[J].现代计量测试,1999,7(2):10-14,60. |
| 作者姓名： | 谢峰 李建林 |
| 作者单位： | 华中理工大学 |
| 摘 要： | 介绍了一种新型的基于动态聚焦探测法的光学轮廓仪，该仪器可实现表面形貌的快速、非接触测量，其最大测量范围为５００μｍ，最小分辨率可达１０ｎｍ，文中详细地描述了该轮廓仪的工作原理、关键技术的实现及其应用。 |
| 关 键 词： | 表面形貌 非接触测量 聚焦探测 光针式 轮廓仪 |
Development of Optical Stylus Profilometer |
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| Xie Feng\ Li Jianlin\ Xie Tiebang\ Li Zhu.Development of Optical Stylus Profilometer[J].Modern Measurement and Test,1999,7(2):10-14,60. | |
| Authors: | Xie Feng\ Li Jianlin\ Xie Tiebang\ Li Zhu |
| Abstract: | |
| Keywords: | surface topography non contact measurement focus detection servo control |
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