| 金刚石膜的氮掺杂行为 |
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| 引用本文： | 李明吉,吕宪义,孙宝茹,李春燕,李博,金曾孙.金刚石膜的氮掺杂行为[J].新型炭材料,2007,22(2):183-187. |
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| 作者姓名： | 李明吉 吕宪义 孙宝茹 李春燕 李博 金曾孙 |
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| 作者单位： | 吉林大学,超硬材料国家重点实验室,吉林,长春,130012 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 采用电子辅助化学气相沉积法(EA-CVD)制备了氮掺杂金刚石膜,用SEM、Raman光谱、XPS、EPR等测试手段研究了金刚石薄膜的品质和膜中的氮杂质状态。结果表明,随着氮气流量的增加,金刚石膜的形貌从完整的晶面逐渐变为与(100)面共存的“菜花状”,且非晶碳的含量增加,品质下降。金刚石膜中氮以Ns0、N—V]0和N—V]-1的形式存在,在较低氮气流量下N—V]0和N—V]-1的含量较多,Ns0氮杂质的质量分数在1.50×10-5～4.83×10-4之间变化。
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| 关 键 词： | 金刚石膜 EA-CVD方法 膜品质 氮杂质 |
| 文章编号： | 1007-8827（2007）02-0183-05 |
| 收稿时间： | 2006-08-30 |
| 修稿时间： | 2006-08-302007-05-11 |
Nitrogen-doped diamond film and its doping behavior |
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| LI Ming-ji,LU Xian-yi,SUN Bao-ru,LI Chun-yan,LI Bo,JIN Zeng-sun.Nitrogen-doped diamond film and its doping behavior[J].New Carbon Materials,2007,22(2):183-187. |
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| Authors: | LI Ming-ji LU Xian-yi SUN Bao-ru LI Chun-yan LI Bo JIN Zeng-sun |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Diamond film EA-CVD Film quality Nitrogen impurity state |
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