| 薄膜几种重要力学性能的评价 |
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| 引用本文： | 李家宝,覃明,马素媛,陈昌荣.薄膜几种重要力学性能的评价[J].理化检验(物理分册),2003,39(9):441-446. |
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| 作者姓名： | 李家宝 覃明 马素媛 陈昌荣 |
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| 作者单位： | 中国科学院金属研究所沈阳材料科学国家(联合)实验室,沈阳,110016 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(59931010,50272067) |
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| 摘 要： | 提出了一种利用X射线应力分析技术和应变电测法测量附着膜的等效应力——等效单轴应变、屈服强度和加工硬化指数的方法。利用该方法测得一种厚度为2．5μm的TiN膜的务件屈服点σ0，1和σ0．2分别等于4．2GPa和4．4GPa，加工硬化指数72为0．36；对于一种厚度为2．4μm的铜膜，得到σ0．1-328MPa，σ0．2—415MPa，n=0．62。利用无应变剥层技术逐层剥离薄膜，同时测量基片曲率半径的变化，由此测得了一种厚度为2．3μm的TiN膜的残余应力沿层深分布。用新建立的一种利用X射线应力分析法测量薄膜泊松比的技术，测出一种TiN膜的泊松比等于0．27。给出了测量陶瓷膜的杨氏模量的设想。
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| 关 键 词： | 薄膜 力学性能 评价 X射线应力分析 屈服强度 加工硬化指数 残余应力 泊松比 杨氏模量 应变电测法 |
| 文章编号： | 1001-4012(2003)09-0441-06 |
| 修稿时间： | 2003年5月28日 |
EVALUATION OF SEVERAL IMPORTANT MECHANICAL PROPERTIES FOR THIN FILMS |
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| LI Jia-bao,QIN Ming,MA Su-yuan,CHEN Chang-rong.EVALUATION OF SEVERAL IMPORTANT MECHANICAL PROPERTIES FOR THIN FILMS[J].Physical Testing and Chemical Analysis Part A:Physical Testing,2003,39(9):441-446. |
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| Authors: | LI Jia-bao QIN Ming MA Su-yuan CHEN Chang-rong |
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