| LiTa3O8薄膜制备与电性能研究 |
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| 引用本文： | 张德银,黄大贵,李金华,李坤.LiTa3O8薄膜制备与电性能研究[J].无机材料学报,2008,23(6):1106-1110. |
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| 作者姓名： | 张德银 黄大贵 李金华 李坤 |
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| 作者单位： | 1.电子科技大学机电工程学院,成都610054;2.中国民航飞行学院航空工程学院,广汉618307;3.江苏工业学院信息科学系,常州213016 |
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| 摘 要： | 以乙醇锂和乙醇钽为起始反应物, 用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了新型钽酸锂LiTa3O8铁电薄膜. 经XRD图谱对比, 该薄膜结构不同于LiTaO3晶体结构, 与正交相结构类似. SEM分析显示经过750℃结晶退火的LiTa3O8薄膜表面均匀平整无裂纹, 膜厚约为1μm. 实验结果表明, 在450kV/cm时, LiTa3O8薄膜剩余极化强度Pr为9.3μC/cm2, 矫顽场强Ec为126.8kV/cm; 在9.5kV/cm时, LiTa3O8薄膜漏电电流为8.85×10-9A/cm2, 比LiTaO3薄膜漏电小; 在1kHz时, LiTa3O8薄膜介电常数为58.4, 介电损耗为0.26. 溶胶-凝胶法制备的 LiTa3O8薄膜结晶温度比LiTaO3薄膜高50℃以上.
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| 关 键 词： | 铁电薄膜 LiTa3O8 sol-gel 铁电性能 介电性能 |
| 收稿时间： | 2008-1-3 |
| 修稿时间： | 2008-3-12 |
Preparation and Electrical Properties of LiTa3O8 Thin Films |
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| ZHANG De-Yin,HUANG Da-Gui,LI Jin-Hua,LI Kun.Preparation and Electrical Properties of LiTa3O8 Thin Films[J].Journal of Inorganic Materials,2008,23(6):1106-1110. |
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| Authors: | ZHANG De-Yin HUANG Da-Gui LI Jin-Hua LI Kun |
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| Affiliation: | 1.SchoolofMechatronicsEngineering,UniversityofElectronicScienceandTechnologyofChina,Chengdu610054,China;2.AviationEngineeringInstitute,CivilAviationFlightUniversityofChina,Guanghan618307,China;3.InformationScienceDepartment,JiangsuPolytechnicUniversity,Changzhou213016,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ferroelectric thin film LiTa3O8 sol-gel ferroelectric properties dielectric properties |
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