| 硅基LiNbO3薄膜的微结构研究 |
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| 引用本文： | 卢焕明,叶志镇,黄靖云,汪雷,赵炳辉.硅基LiNbO3薄膜的微结构研究[J].无机材料学报,2005,20(4):971-975. |
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| 作者姓名： | 卢焕明 叶志镇 黄靖云 汪雷 赵炳辉 |
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| 作者单位： | 浙江大学硅材料国家重点实验室,杭州,310027 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金重大研究计划(90101009);浙江省留学回国基金(20046) |
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| 摘 要： | 利用透射电子显微镜及X射线衍射，研究脉冲激光沉积技术(PLD)在Si(001)衬底上生长LiNbO3薄膜的微结构．结果表明，在600℃的衬底温度、30Pa的氧分压条件下，在硅片表面5nm厚的非晶氧化层上生长的薄膜，为c轴择优取向的单相LiNbO3晶体，本文还讨论了获得c轴择优取向LiNbO3薄膜的生长机理．
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| 关 键 词： | LiNbO3薄膜 透射电子显微镜 PLD技术 |
| 文章编号： | 1000-324X(2005)04-0971-05 |
| 收稿时间： | 2004-5-11 |
| 修稿时间： | 2004-11-29 |
Microstructure of LiNbO3 Thin Films Grown on Silicon Substrates by Pulsed Laser Deposition |
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| LU Huan-ming,YE Zhi-zhen,HUANG Jing-yun,WANG Lei,ZHAO Bing-hui.Microstructure of LiNbO3 Thin Films Grown on Silicon Substrates by Pulsed Laser Deposition[J].Journal of Inorganic Materials,2005,20(4):971-975. |
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| Authors: | LU Huan-ming YE Zhi-zhen HUANG Jing-yun WANG Lei ZHAO Bing-hui |
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| Affiliation: | StateKeyLaboratoryofSiliconMaterials;ZhejiangUniversity;Hangzhou310027;China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | LiNbO3 transmission electron microscopy pulsed laser deposition |
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