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| B3N3H6微波等离子体增强化学气相沉积B—N薄膜 | |
| 引用本文： | 雷铭凯,马腾才.B3N3H6微波等离子体增强化学气相沉积B—N薄膜[J].无机材料学报,1995,10(1):105-108. |
| 作者姓名： | 雷铭凯 马腾才 |
| 摘 要： | 采用Ｂ３Ｎ３Ｈ６－Ｎ２混合气体为原料，余辉微波等离子体增强化学气相沉积ＢＮ薄膜，漫反射富氏变换红外光谱分析表明，在５５０℃沉积温度下，１Ｃｒ１８Ｎｉ９Ｔｉ基片上获得了低含氢量的ｃ－ＢＮ和少量ｈ－ＢＮ相的混合薄膜。薄膜Ｋｎｏｏｐ硬度值为２０．８ＧＰａ。划痕试验法测定薄膜的附着性，临界载荷为８．１Ｎ。 |
| 关 键 词： | 微波 等离子体 化学气相沉积 |
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