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掺杂SnO2透明导电薄膜电学及光学性能研究
引用本文:郭玉忠,王剑华,黄瑞安,王贵青.掺杂SnO2透明导电薄膜电学及光学性能研究[J].无机材料学报,2002,17(1):131-138.
作者姓名:郭玉忠  王剑华  黄瑞安  王贵青
作者单位:昆明理工大学新材料制备与加工省重点实验室,昆明650093
基金项目:国家科委重点科技攻关项目(96-119-04-01-05)
摘    要:通过实验测量sol-gel工艺制备的Sb掺杂SnO2薄膜载流子浓度、迁移率、电阻率、膜厚、紫外-可见光区透射率,反射率等性质,详细研究了Sb掺杂SnO2薄膜电化学与光学性能,实验发现,薄膜具有良好的透光性和较高导电性,膜内载流子浓度高达10^20cm^-3,电阻率-10^-2Ω.cm, 透光率高达90%,SnO2膜禁带宽度Eg=3.7-3.80eV.

关 键 词:Sb  掺杂  SnO2薄膜  导电性  测量  透光度  反射率  电学性能  二氧化锡  半导体材料    光学性能
文章编号:1000-324X(2002)01-0131-08
收稿时间:2001-1-12
修稿时间:2001年1月12日

Electrical and Optical Properties of Transparent and Conductive Sb-Doped SnO2 Films
GUO Yu-Zhong,WANG Jian-Hua,HUANG Rui-An,WANG Gui-Qing.Electrical and Optical Properties of Transparent and Conductive Sb-Doped SnO2 Films[J].Journal of Inorganic Materials,2002,17(1):131-138.
Authors:GUO Yu-Zhong  WANG Jian-Hua  HUANG Rui-An  WANG Gui-Qing
Affiliation:NovelMaterialsPreparation&ProcessingProvincialLaboratory;KunmingUniversityofScience&Tech-nology;Kunming650093;China
Abstract:
Keywords:Sb-doped SnO2 thin films  conductivity measurements  transmittance and reflectivity
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